洁净室的空调负荷特点:
服务于微电子和光电子的高别洁净室因工艺排风量大,所以新风量也很大,新风量一般在10~20次/h换气;因此,处理如此多新风的负荷大约为400~800 w/m2;个别工艺的排风量,固新风负荷也还会。因此新风负荷大是其第二个负荷特点。
生产设备和生产过程的散热、散湿负荷大,是高别洁净室的第三个负荷特点。生产负荷的大小是与工艺生产本身的性质、生产设备的密闭、保温、通风以及水冷却的情况有关。
乱流洁净室:乱流洁净室也叫非单向流洁净室,非单向流洁净室的原理是靠洁净送风气流扩散、混合、不断稀释室内空气,安徽洁净室,把室内污染逐渐排出,达到平衡。简言之,非单向流洁净室的原理就是稀释作用。特点:乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,洁净室设计,净化级别越高)
同样的洁净度要求下,所需送风量很小,节能效果非常---,洁净室工程,并且辐流洁净室能达到1000级及其以下的洁净度。但净化效果比非单向流洁净室好。
洁净室洁净度等级标准:
iso-14644是---,车间洁净室,现在美国、欧洲、日本、俄罗斯和我国都采用此标准,美国原来应用的是美国联邦标准209a、b、c、d、e,现在美国也不用了。原来我们熟悉的100级、1000级、10000级和100000级都是源自美国联邦标准fs209b,现在它们分别被---iso-14644标准中的5级、6级、7级和8级所替代。
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