腾义,按需规划设计-安徽车间洁净室

洁净室属于人造的环境，里面含有的粒子远低于一般的环境，随着集成电路的级数的快速成长，也增加了对制造环境(洁净室)洁净度要求，在工业上即使使粒子之尺寸想小于0。1微米。也可能阻碍产品的制作或降低其寿命。优于纳米技术的兴起，造成半导体关键尺寸持续缩小，集成电路积集度不断地增加，尘粒更容易使芯片失效或---度下降。例如当金属尘粒落到金属导线时，就可能会使金属导线形成短路。所以洁净室为集成电路制造必不能少的因素。

建设洁净室具体的要求1、生产研究过程应尽可能短，并应完成清理渠道的安装。有---合理安排洁净室以供人员使用，包括更衣室，储藏室，缓冲室和临时储藏室。货物通过时应设有缓冲室，车间洁净室，转运窗和外包室。2、严格按照清洁工程的清洁度水平进行设计和施工，从高到低，从内到外。3、为了防止洁净室之间的交叉污染，洁净室应设计有不同的空气净化室或洁净室内的防污染措施。小物品的转移应通过转移窗口发送。4、洁净室的净化空气量应---室内正压所需的空气量和满足室内排风量，并应配备洁净空调房。